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μm，微米，长度单位。微米是长度单位，符号[micron]。微米公制中计量长度的一种单位。1微米的长度是1米的一百万分之一，是1毫米一千分之一。通常用来计量微小物体的长度。微米技术用于界定物理特征尺寸接近1μm的体系。  微米技术 微米技术用于界定物理特征尺寸接近1μm（10-6m）的体系。20世纪60年代后期，研究人员实现了机械装置的小型化和批量制作，这项技术给机械领域带来的进步，就像集成电路技术给电子领域带来的一样。微米技术也称为微机电系统(MEMS)，其始于1969年美国西屋(Westinghouse)公司设计的谐振栅—场效应晶体管。 接下来的十年中，一些制造厂商开始使用体硅蚀刻技术生产压力传感器。技术上的突破一直持续到20世纪80年代初，使用新型多晶硅表面微加工技术来制造用于磁盘驱动磁头的驱动器。到了80年代后期，MEMS器件的潜力被认可，开始广泛应用于微电子和生物医药工业领域。25年中，MEMS已经从技术好奇心的领域来到了充满商业潜力的世界。 今天，MEMS器件在汽车安全气囊、喷墨打印机、血压监测仪、投影显示系统以及空间系统中均成为核心部件，已经展现出广泛的用途。可以预见，在不远的将来，这些MEMS器件将像微电子产品一样普及。 (责任编辑：admin) |