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紫外线涉及领域 电子领域 紫外线可用于光刻设备，用于生产电子芯片，如EUV光刻机采用的是EUV超高频紫外线(极紫外线)，由于其波长极短，分辨率高，可以用于光刻机，生产极短制程的CPU和各种电子芯片，紫外光刻是电子工业的重要生产技术之一。 工业领域 在表面清洗处理中的应用。 由于大功率超高功率低气压UV放电管开发的进展，以及随着微电子等产品的超微细化，在微电子、超精密器件等产品的制造过程中，由高频短波紫外线及其产生的臭氧对其产品的表面进行超精密清洗或改善其表面的接着性、附着性的干式光表面处理技术的实用化进展得很快。需要提高成品率的半导体器件、液晶表示元件、光学制品等制造中，紫外线UV和O3臭氧并用的干式光表面处理技术已成不可缺少的技术手段。作为氟利昂的替代技术，光表面清洗技术将逐渐取代湿式的传统技术。 (责任编辑：admin) |